DETERMINATION OF INTERFACE AND BULK-TRAP STATES OF IGFETS USING DEEP-LEVEL TRANSIENT SPECTROSCOPY

被引:71
作者
WANG, KL [1 ]
EVWARAYE, AO [1 ]
机构
[1] GE, CORP RES & DEV, SCHENECTADY, NY 12301 USA
关键词
D O I
10.1063/1.322381
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:4574 / 4577
页数:4
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