ARSENIC-IMPLANTED POLYSILICON LAYERS

被引:29
作者
RYSSEL, H
IBERL, H
BLEIER, M
PRINKE, G
HABERGER, K
KRANZ, H
机构
来源
APPLIED PHYSICS | 1981年 / 24卷 / 03期
关键词
D O I
10.1007/BF00899755
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:197 / 200
页数:4
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