RANGES AND STANDARD DEVIATIONS OF IMPLANTED IONS

被引：8

作者：

YUDIN, VV

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS | 1978年 / 15卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00928213

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：223 / 228

页数：6

共 20 条

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