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EDGE-EFFECTS CORRECTION IN DEPTH PROFILES OBTAINED BY ION-BEAM SPUTTERING

被引：13
作者：
TSONG, IST
POWER, GL
HOFFMAN, DW
MAGEE, CW
机构：
[1] FORD MOTOR CO,DEARBORN,MI 48121
[2] RCA LABS,PRINCETON,NJ 08540
来源：
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS | 1980年 / 168卷 / 1-3期
关键词：
D O I：
10.1016/0029-554X(80)91283-5
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要：
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页码：399 / 404
页数：6
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