PROXIMITY CORRECTION ENHANCEMENTS FOR 1-MUM DENSE CIRCUITS

被引:14
作者
GROBMAN, WD
SPETH, AJ
CHANG, THP
机构
关键词
Compendex;
D O I
10.1147/rd.245.0537
中图分类号
TP3 [计算技术、计算机技术];
学科分类号
0812 ;
摘要
LITHOGRAPHY
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页数:8
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