AUTOMATIC X-RAY-DIFFRACTION MEASUREMENT OF THE LATTICE CURVATURE OF SUBSTRATE WAFERS FOR THE DETERMINATION OF LINEAR STRAIN PATTERNS

被引：69

作者：

SEGMULLER, A

ANGILELO, J

LAPLACA, SJ

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.327606

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：6224 / 6230

页数：7

共 24 条

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