INDEX OF REFRACTION OF STEAM GROWN OXIDES ON SILICON

被引:25
作者
TAFT, EA
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2129805
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
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页数:2
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共 4 条
[1]   GENERAL RELATIONSHIP FOR THERMAL OXIDATION OF SILICON [J].
DEAL, BE ;
GROVE, AS .
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1965, 36 (12) :3770-&
[2]  
Douglas R, 1951, J SOC GLASS TECHNOL, V35, P206
[3]  
Kennedy J. C., 1964, PHYS CHEM GLASSES-B, V5, P130