FUNCTION TESTING OF BIPOLAR ICS AND LSIS WITH THE STROBOSCOPIC SCANNING ELECTRON-MICROSCOPE

被引:33
作者
FUJIOKA, H
NAKAMAE, K
URA, K
机构
关键词
D O I
10.1109/JSSC.1980.1051360
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页数:7
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