ULTRAVIOLET-LASER ABLATION OF POLYIMIDE FILMS

被引:222
作者
SRINIVASAN, R
BRAREN, B
DREYFUS, RW
机构
关键词
D O I
10.1063/1.338834
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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页码:372 / 376
页数:5
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