DISLOCATION PINNING EFFECT OF OXYGEN-ATOMS IN SILICON

被引:117
作者
HU, SM [1 ]
机构
[1] IBM CORP,DIV SYST PROD,HOPEWELL JUNCTION,NY 12533
关键词
D O I
10.1063/1.89580
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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