CHANNELING OF BORON IONS INTO SILICON

被引：13

作者：

LECROSNIER, D ^{[1
]}

PAUGAM, J ^{[1
]}

GALLOU, J ^{[1
]}

机构：

[1] CTR NATL ETUD TELECOMMUN,LANNION,FRANCE

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.89384

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：323 / 325

页数：3

共 9 条

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