THERMAL AND CHEMICAL-STABILITY OF SE-PASSIVATED GAAS-SURFACES

被引:30
作者
TURCO, FS
SANDROFF, CJ
HEDGE, MS
TAMARGO, MC
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1990年 / 8卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.584978
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:856 / 859
页数:4
相关论文
共 19 条