A STUDY OF VANADIUM AS DIFFUSION BARRIER BETWEEN ALUMINUM AND GADOLINIUM SILICIDE CONTACTS

被引:30
作者
EIZENBERG, M [1 ]
THOMPSON, RD [1 ]
TU, KN [1 ]
机构
[1] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598
关键词
D O I
10.1063/1.330030
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:6891 / 6897
页数:7
相关论文
共 10 条