GROWTH OF SULFIDE FILMS ON INP BY PLASMA SULFIDATION

被引:17
作者
GENDRY, M [1 ]
DURAND, J [1 ]
COT, L [1 ]
HOLLINGER, G [1 ]
机构
[1] UNIV LYON 1,INST PHYS NUCL,F-69622 VILLEURBANNE,FRANCE
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(87)90394-4
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:313 / 324
页数:12
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