PLASMA SI NITRIDE - A PROMISING DIELECTRIC TO ACHIEVE HIGH-QUALITY SILICON MIS-IL SOLAR-CELLS

被引:127
作者
HEZEL, R
SCHORNER, R
机构
关键词
D O I
10.1063/1.329058
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:3076 / 3079
页数:4
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