IC-PROCESSED ELECTROSTATIC SYNCHRONOUS MICROMOTORS

被引：90

作者：

TAI, YC ^{[1
]}

MULLER, RS ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CALIF BERKELEY,ELECTR RES LAB,BERKELEY,CA 94720

来源：

SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 20卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0250-6874(89)87101-X

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：49 / 55

页数：7

共 6 条

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