SILICON TRANSFER LAYER FOR MULTILAYER RESIST SYSTEMS

被引:29
作者
KRUGER, JB
RISSMAN, P
CHANG, MS
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 19卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.571268
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1320 / 1324
页数:5
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