FILMS OF SILICON NITRIDE-SILICON DIOXIDE MIXTURES

被引：54

作者：

CHU, TL

SZEDON, JR

LEE, CH

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2411154

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：318 / &

共 6 条

[1] PREPARATION AND PROPERTIES OF AMORPHOUS SILICON NITRIDE FILMS [J].

CHU, TL ;

LEE, CH ;

GRUBER, GA .

CHU, TL ;

SZEDON, JR ;

LEE, CH .

HU, SM ;

KERR, DR ;

GREGOR, LV .

[4]

HU SM, 1966, J ELECTROCHEM SOC, V113, P697

[5]

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[6]

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