VARIOUS CHEMICAL MECHANISMS FOR THE CRYSTAL-GROWTH OF III-V SEMICONDUCTORS USING COORDINATION-COMPOUNDS AS STARTING MATERIAL IN THE MOCVD PROCESS

被引:61
作者
ZAOUK, A
SALVETAT, E
SAKAYA, J
MAURY, F
CONSTANT, G
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(81)90281-5
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
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页码:135 / 144
页数:10
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