一种离子束运动截面的调整装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120533666.5

申请日：

2011-12-19

公开(公告)号：

CN202352612U

公开(公告)日：

2012-07-25

发明(设计)人：

李海洋曲丕丞赵无垛陈平崔华鹏

申请人：

申请人地址：

116023 辽宁省大连市中山路457号

IPC主分类号：

H01J4940

IPC分类号：

H01J4902

代理机构：

沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002

代理人：

马驰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-25	授权	授权
2015-08-05	避免重复授权放弃专利权	避免重复授权放弃专利权号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101718852372 IPC(主分类):H01J 49/40 专利号:ZL2011205336665 申请日:20111219 授权公告日:20120725 放弃生效日:20150805

共 50 条

[1]

一种离子束运动截面的调整装置 [P].

李海洋 ;

曲丕丞 ;

赵无垛 ;

陈平 ;

崔华鹏 .

中国专利 :CN103165395B ,2013-06-19

[2]

离子束孔径调整装置 [P].

何春雷 ;

王俊 ;

周正明 .

中国专利 :CN202363410U ,2012-08-01

[3]

离子束调整装置及其离子束调整方法 [P].

张朋兵 ;

王兆祥 ;

涂乐义 ;

梁洁 ;

唐乐 .

中国专利 :CN118748143A ,2024-10-08

[4]

离子束调整装置及离子束调整方法、离子注入设备 [P].

苏文华 ;

何太延 .

中国专利 :CN119890018A ,2025-04-25

[5]

离子束调整装置及方法 [P].

周利荣 ;

高向友 ;

赵五元 ;

李霆 ;

倪建新 ;

石健 ;

王凯 ;

张元旭 .

中国专利 :CN118767349A ,2024-10-15

[6]

一种离子束横截面离子浓度检测系统 [P].

唐瑞龙 ;

倪明明 ;

洪纪伦 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN207851313U ,2018-09-11

[7]

用于离子束辅助沉积镀膜装置的离子源调整装置 [P].

朱佳敏 ;

孙树博 ;

林晓辉 ;

陈思侃 ;

高中赫 ;

曹森 ;

李鸿 ;

陈永春 ;

陈晓琦 ;

柏培 .

中国专利 :CN118048618A ,2024-05-17

[8]

用于离子束辅助沉积镀膜装置的离子源调整装置 [P].

朱佳敏 ;

孙树博 ;

林晓辉 ;

陈思侃 ;

高中赫 ;

曹森 ;

李鸿 ;

陈永春 ;

陈晓琦 ;

柏培 .

中国专利 :CN118048618B ,2024-08-30

[9]

一种用于离子束截面研磨的冷却装置 [P].

李滔 .

中国专利 :CN220474564U ,2024-02-09

[10]

一种高速流离子注入机中离子束的调整装置 [P].

刘洋 .

中国专利 :CN106373849A ,2017-02-01

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