离子束孔径调整装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120513867.9

申请日：

2011-12-09

公开(公告)号：

CN202363410U

公开(公告)日：

2012-08-01

发明(设计)人：

何春雷王俊周正明

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01J37317

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-22	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101591404383 IPC(主分类):H01J 37/32 专利号:ZL2011205138679 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130424
2019-11-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20111209 授权公告日:20120801 终止日期:20181209
2012-08-01	授权	授权

共 50 条

[1]

离子束调整装置及其离子束调整方法 [P].

张朋兵 ;

王兆祥 ;

涂乐义 ;

梁洁 ;

唐乐 .

中国专利 :CN118748143A ,2024-10-08

[2]

离子束调整装置及离子束调整方法、离子注入设备 [P].

苏文华 ;

何太延 .

中国专利 :CN119890018A ,2025-04-25

[3]

离子束调整装置及方法 [P].

周利荣 ;

高向友 ;

赵五元 ;

李霆 ;

倪建新 ;

石健 ;

王凯 ;

张元旭 .

中国专利 :CN118767349A ,2024-10-15

[4]

一种离子束运动截面的调整装置 [P].

李海洋 ;

曲丕丞 ;

赵无垛 ;

陈平 ;

崔华鹏 .

中国专利 :CN202352612U ,2012-07-25

[5]

一种离子束运动截面的调整装置 [P].

李海洋 ;

曲丕丞 ;

赵无垛 ;

陈平 ;

崔华鹏 .

中国专利 :CN103165395B ,2013-06-19

[6]

用于离子束辅助沉积镀膜装置的离子源调整装置 [P].

朱佳敏 ;

孙树博 ;

林晓辉 ;

陈思侃 ;

高中赫 ;

曹森 ;

李鸿 ;

陈永春 ;

陈晓琦 ;

柏培 .

中国专利 :CN118048618A ,2024-05-17

[7]

用于离子束辅助沉积镀膜装置的离子源调整装置 [P].

朱佳敏 ;

孙树博 ;

林晓辉 ;

陈思侃 ;

高中赫 ;

曹森 ;

李鸿 ;

陈永春 ;

陈晓琦 ;

柏培 .

中国专利 :CN118048618B ,2024-08-30

[8]

离子平衡调整装置 [P].

罗子豪 ;

林博镛 .

中国专利 :CN202353909U ,2012-07-25

[9]

一种高速流离子注入机中离子束的调整装置 [P].

刘洋 .

中国专利 :CN106373849A ,2017-02-01

[10]

线束旋转调整装置 [P].

程训涛 .

:CN221149730U ,2024-06-14

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