离子束调整装置及其离子束调整方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410853121.4

申请日：

2024-06-28

公开(公告)号：

CN118748143A

公开(公告)日：

2024-10-08

发明(设计)人：

张朋兵王兆祥涂乐义梁洁唐乐

申请人：

上海邦芯半导体科技有限公司

申请人地址：

201304 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区平霄路358号7号厂房、9号厂房

IPC主分类号：

H01J37/317

IPC分类号：

H01J37/30 H01J37/04

代理机构：

上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292

代理人：

罗晓鹏

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-08	公开	公开
2024-10-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/317申请日:20240628

共 50 条

[1]

离子束调整装置及离子束调整方法、离子注入设备 [P].

苏文华 ;

何太延 .

中国专利 :CN119890018A ,2025-04-25

[2]

离子束孔径调整装置 [P].

何春雷 ;

王俊 ;

周正明 .

中国专利 :CN202363410U ,2012-08-01

[3]

离子束调整装置及方法 [P].

周利荣 ;

高向友 ;

赵五元 ;

李霆 ;

倪建新 ;

石健 ;

王凯 ;

张元旭 .

中国专利 :CN118767349A ,2024-10-15

[4]

一种离子束运动截面的调整装置 [P].

李海洋 ;

曲丕丞 ;

赵无垛 ;

陈平 ;

崔华鹏 .

中国专利 :CN202352612U ,2012-07-25

[5]

一种离子束运动截面的调整装置 [P].

李海洋 ;

曲丕丞 ;

赵无垛 ;

陈平 ;

崔华鹏 .

中国专利 :CN103165395B ,2013-06-19

[6]

用于离子束辅助沉积镀膜装置的离子源调整装置 [P].

朱佳敏 ;

孙树博 ;

林晓辉 ;

陈思侃 ;

高中赫 ;

曹森 ;

李鸿 ;

陈永春 ;

陈晓琦 ;

柏培 .

中国专利 :CN118048618A ,2024-05-17

[7]

用于离子束辅助沉积镀膜装置的离子源调整装置 [P].

朱佳敏 ;

孙树博 ;

林晓辉 ;

陈思侃 ;

高中赫 ;

曹森 ;

李鸿 ;

陈永春 ;

陈晓琦 ;

柏培 .

中国专利 :CN118048618B ,2024-08-30

[8]

一种高速流离子注入机中离子束的调整装置 [P].

刘洋 .

中国专利 :CN106373849A ,2017-02-01

[9]

离子束传输控制系统 [P].

王迪平 ;

罗宏洋 ;

郭健辉 ;

田小海 ;

文超 .

中国专利 :CN2913386Y ,2007-06-20

[10]

高能量离子注入装置、射束电流调整装置及射束电流调整方法 [P].

稻田耕二 ;

加藤浩二 .

中国专利 :CN104658843A ,2015-05-27

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