多功能连续式磁控溅射镀膜装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220694193.1

申请日：

2012-12-14

公开(公告)号：

CN202968682U

公开(公告)日：

2013-06-05

发明(设计)人：

陈宇

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市塘厦镇田心工业区广东志成冠军集团有限公司

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1456

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

胡彬

法律状态：

避免重复授权放弃专利权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-22	避免重复授权放弃专利权	避免重复授权放弃专利权号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713974301 IPC(主分类):C23C 14/35 专利号:ZL2012206941931 申请日:20121214 授权公告日:20130605 放弃生效日:20150422
2013-06-05	授权	授权

共 50 条

[1]

多功能连续式磁控溅射镀膜装置 [P].

陈宇 .

中国专利 :CN103147053A ,2013-06-12

[2]

多功能磁控溅射镀膜装置 [P].

董志良 ;

杨林生 .

中国专利 :CN203270024U ,2013-11-06

[3]

多功能磁控溅射镀膜设备 [P].

刘建超 ;

夏建业 .

中国专利 :CN206359607U ,2017-07-28

[4]

多功能磁控溅射镀膜装置 [P].

王君 ;

杨林生 .

中国专利 :CN101709455A ,2010-05-19

[5]

多功能磁控溅射镀膜装置 [P].

董志良 ;

杨林生 .

中国专利 :CN103290379A ,2013-09-11

[6]

一种连续式磁控溅射镀膜装置 [P].

来华杭 ;

娄国明 ;

江嘉 ;

李赢 .

中国专利 :CN209412301U ,2019-09-20

[7]

一种多功能立式连续磁控溅射镀膜系统 [P].

王进东 .

中国专利 :CN205907353U ,2017-01-25

[8]

内腔式连续磁控溅射镀膜设备 [P].

韩成明 ;

薛道荣 ;

李峰 ;

褚敬堂 ;

刘子毓 .

中国专利 :CN211142150U ,2020-07-31

[9]

一种多功能磁控溅射镀膜装置 [P].

王燕丽 ;

王昕涛 .

中国专利 :CN208803137U ,2019-04-30

[10]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王培红 ;

李晨光 ;

胡国栋 .

中国专利 :CN111893445A ,2020-11-06

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