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多功能磁控溅射镀膜设备

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201621333426.X
申请日：
2016-12-06
公开(公告)号：
CN206359607U
公开(公告)日：
2017-07-28
发明(设计)人：
刘建超 夏建业
申请人：
申请人地址：
213000 江苏省常州市武进区横林镇南方村
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
C23C1450
代理机构：
北京中济纬天专利代理有限公司 11429
代理人：
周浩杰
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2017-07-28 授权 授权
2018-11-23 专利权的终止 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20161206 授权公告日:20170728 终止日期:20171206
共 50 条
[1]
多功能磁控溅射镀膜装置 [P]. 
董志良 ;
杨林生 .
中国专利 :CN203270024U ,2013-11-06
[2]
磁控溅射、坩埚多功能镀膜设备 [P]. 
孟凡杰 ;
房臣德 .
中国专利 :CN223607349U ,2025-11-28
[3]
磁控溅射镀膜设备 [P]. 
刘玉华 ;
方凤军 .
中国专利 :CN204455279U ,2015-07-08
[4]
磁控溅射镀膜设备 [P]. 
蒋文彬 ;
李宁 ;
孙忠 ;
黄智 ;
林锦华 ;
梁师国 ;
英文 ;
李保良 .
中国专利 :CN204474751U ,2015-07-15
[5]
磁控溅射镀膜设备 [P]. 
张心凤 ;
郑杰 ;
尹辉 .
中国专利 :CN204752843U ,2015-11-11
[6]
磁控溅射镀膜设备 [P]. 
臧世伟 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN222455186U ,2025-02-11
[7]
磁控溅射镀膜设备 [P]. 
王健文 ;
李学欧 ;
蔡东锋 ;
梁凯基 ;
李劲川 .
中国专利 :CN201437550U ,2010-04-14
[8]
磁控溅射镀膜设备 [P]. 
张心凤 ;
郑杰 ;
尹辉 .
中国专利 :CN204727943U ,2015-10-28
[9]
磁控溅射镀膜设备 [P]. 
刘玉华 ;
方凤军 .
中国专利 :CN204455280U ,2015-07-08
[10]
多功能磁控溅射镀膜装置 [P]. 
王君 ;
杨林生 .
中国专利 :CN101709455A ,2010-05-19
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