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一种栅极双重曝光图案化方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710701161.7
申请日：
2017-08-16
公开(公告)号：
CN107578987A
公开(公告)日：
2018-01-12
发明(设计)人：
李润领
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
IPC主分类号：
H01L21033
IPC分类号：
H01L2128
代理机构：
上海申新律师事务所 31272
代理人：
俞涤炯
法律状态：
发明专利申请公布后的驳回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-02 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/033 申请公布日:20180112 |
| 2018-02-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/033 申请日:20170816 |
| 2018-01-12 | 公开 | 公开 |