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一种晶圆夹取装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020741792.9
申请日：
2020-05-08
公开(公告)号：
CN211670187U
公开(公告)日：
2020-10-13
发明(设计)人：
张强 沈杰 林擎宇
申请人：
申请人地址：
610000 四川省成都市高新区世纪城南路599号天府软件园D6栋505号
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
成都慕川专利代理事务所(普通合伙) 51278
代理人：
杨艳
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-10-13 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆夹取装置 [P]. 
胡毅 ;
杨国运 .
中国专利 :CN222867663U ,2025-05-13
[2]
一种晶圆夹取装置 [P]. 
吕龙 ;
洪超 ;
张守成 ;
陈怡福 .
中国专利 :CN215680649U ,2022-01-28
[3]
一种晶圆夹取装置 [P]. 
马诗阳 .
中国专利 :CN221994451U ,2024-11-12
[4]
晶圆夹取装置及晶圆加工设备 [P]. 
周鑫 ;
胡小波 ;
刘炳先 ;
刘亚杰 ;
刘桂芳 .
中国专利 :CN221994448U ,2024-11-12
[5]
晶圆夹取装置 [P]. 
马诗阳 ;
金浩 ;
黄允文 .
中国专利 :CN118156214A ,2024-06-07
[6]
晶圆夹取装置 [P]. 
马诗阳 ;
金浩 ;
黄允文 .
中国专利 :CN118156214B ,2024-12-03
[7]
一种晶圆垫的夹取装置 [P]. 
齐飞 ;
李俊丰 .
中国专利 :CN221041023U ,2024-05-28
[8]
一种晶圆托盘的夹取装置 [P]. 
何飞 ;
童启 .
中国专利 :CN216054645U ,2022-03-15
[9]
一种夹爪机构及晶圆夹取装置 [P]. 
万先进 ;
李俊 ;
李文超 ;
边逸军 .
中国专利 :CN218039156U ,2022-12-13
[10]
一种晶圆夹取机构 [P]. 
刘孟飞 ;
苏昌全 .
中国专利 :CN223296794U ,2025-09-02
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