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一种晶圆托盘的夹取装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202122663756.2
申请日：
2021-11-02
公开(公告)号：
CN216054645U
公开(公告)日：
2022-03-15
发明(设计)人：
何飞
童启
申请人：
申请人地址：
430000 湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
代理机构：
北京众达德权知识产权代理有限公司 11570
代理人：
安磊
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-15 | 授权 | 授权 |