一种晶圆垫的夹取装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322730572.2

申请日：

2023-10-11

公开(公告)号：

CN221041023U

公开(公告)日：

2024-05-28

发明(设计)人：

齐飞李俊丰

申请人：

芯恩（青岛）集成电路有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401

IPC主分类号：

H01J9/50

IPC分类号：

H01J37/20 H01J37/317

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

授权

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-28	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆夹取装置 [P].

胡毅 ;

杨国运 .

中国专利 :CN222867663U ,2025-05-13

[2]

一种晶圆夹取装置 [P].

吕龙 ;

洪超 ;

张守成 ;

陈怡福 .

中国专利 :CN215680649U ,2022-01-28

[3]

一种晶圆夹取装置 [P].

马诗阳 .

中国专利 :CN221994451U ,2024-11-12

[4]

一种晶圆夹取装置 [P].

张强 ;

沈杰 ;

林擎宇 .

中国专利 :CN211670187U ,2020-10-13

[5]

一种晶圆托盘的夹取装置 [P].

何飞 ;

童启 .

中国专利 :CN216054645U ,2022-03-15

[6]

晶圆夹取装置及晶圆加工设备 [P].

周鑫 ;

胡小波 ;

刘炳先 ;

刘亚杰 ;

刘桂芳 .

中国专利 :CN221994448U ,2024-11-12

[7]

晶圆夹取装置 [P].

马诗阳 ;

金浩 ;

黄允文 .

中国专利 :CN118156214A ,2024-06-07

[8]

晶圆夹取装置 [P].

马诗阳 ;

金浩 ;

黄允文 .

中国专利 :CN118156214B ,2024-12-03

[9]

一种夹爪机构及晶圆夹取装置 [P].

万先进 ;

李俊 ;

李文超 ;

边逸军 .

中国专利 :CN218039156U ,2022-12-13

[10]

一种夹取晶圆的镊子 [P].

吴斌 ;

林志东 .

中国专利 :CN209496847U ,2019-10-15

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