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一种晶圆清洗甩干装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321446009.6
申请日：
2023-06-07
公开(公告)号：
CN220290781U
公开(公告)日：
2024-01-02
发明(设计)人：
解家剑
卢超
林镇樟
刘林
申请人：
环诚智能装备（成都）有限公司
申请人地址：
611700 四川省成都市高新区安泰七路66号1号1层
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
F26B5/08
B08B3/02
B08B13/00
B08B11/00
H01L21/67
代理机构：
成都华飞知识产权代理事务所(普通合伙) 51281
代理人：
徐鸿
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-02 | 授权 | 授权 |