一种晶圆冲洗甩干机及清洗甩干方法

被引：0

申请号：

CN202110442233.7

申请日：

2021-04-23

公开(公告)号：

CN114464548A

公开(公告)日：

2022-05-10

发明(设计)人：

涂辉

申请人：

申请人地址：

226000 江苏省南通市开发区星湖大道1692号21(22)幢16008室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102 B08B302

代理机构：

上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333

代理人：

张静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210423
2022-05-10	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆清洗甩干机 [P].

高思玮 .

中国专利 :CN102339729A ,2012-02-01

[2]

晶圆清洁甩干机 [P].

孙彩霞 ;

肖锦成 ;

郭永强 .

中国专利 :CN222483330U ,2025-02-14

[3]

一种甩干装置及晶圆甩干机 [P].

邱文金 ;

罗家明 .

中国专利 :CN217275357U ,2022-08-23

[4]

一种水平式晶圆甩干机构及晶圆甩干机 [P].

乔涛涛 ;

陈林林 .

中国专利 :CN223036772U ,2025-06-27

[5]

一种晶圆清洗甩干装置 [P].

解家剑 ;

卢超 ;

林镇樟 ;

刘林 .

中国专利 :CN220290781U ,2024-01-02

[6]

一种晶圆旋转冲洗甩干设备 [P].

涂辉 .

中国专利 :CN214956774U ,2021-11-30

[7]

一种晶圆甩干机 [P].

李春阳 ;

高局 ;

彭祎 ;

任超 .

中国专利 :CN216620618U ,2022-05-27

[8]

一种晶圆甩干机的电机安装结构及立式晶圆甩干机 [P].

欧阳小泉 .

中国专利 :CN221573868U ,2024-08-20

[9]

一种晶圆甩干机 [P].

洪五贵 ;

曾恕林 ;

洪李兵 ;

洪隆彪 .

中国专利 :CN117588906A ,2024-02-23

[10]

一种晶圆甩干机 [P].

欧阳小泉 .

中国专利 :CN215815796U ,2022-02-11

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