一种水平式晶圆甩干机构及晶圆甩干机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422024935.5

申请日：

2024-08-21

公开(公告)号：

CN223036772U

公开(公告)日：

2025-06-27

发明(设计)人：

乔涛涛陈林林

申请人：

苏州富芯峰半导体设备有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市昆山开发区澄湖路58号12幢1楼车间北和1楼隔层北

IPC主分类号：

F26B11/08

IPC分类号：

F26B5/08 F26B25/02 F26B25/06 F26B25/16 H01L21/67

代理机构：

无锡三合知识产权代理事务所(普通合伙) 32602

代理人：

徐鹏飞;赵庆华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-27	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆甩干机以及用于晶圆甩干机的限位机构 [P].

张雷 .

中国专利 :CN110335834B ,2019-10-15

[2]

晶圆甩干机限位机构 [P].

田英干 .

中国专利 :CN211828696U ,2020-10-30

[3]

一种甩干装置及晶圆甩干机 [P].

邱文金 ;

罗家明 .

中国专利 :CN217275357U ,2022-08-23

[4]

晶圆清洁甩干机 [P].

孙彩霞 ;

肖锦成 ;

郭永强 .

中国专利 :CN222483330U ,2025-02-14

[5]

晶圆清洗甩干机 [P].

高思玮 .

中国专利 :CN102339729A ,2012-02-01

[6]

一种晶圆甩干机 [P].

李春阳 ;

高局 ;

彭祎 ;

任超 .

中国专利 :CN216620618U ,2022-05-27

[7]

一种晶圆甩干机 [P].

洪五贵 ;

曾恕林 ;

洪李兵 ;

洪隆彪 .

中国专利 :CN117588906A ,2024-02-23

[8]

一种晶圆甩干机 [P].

欧阳小泉 .

中国专利 :CN215815796U ,2022-02-11

[9]

一种圆晶甩干机 [P].

赵文涛 .

中国专利 :CN222123809U ,2024-12-06

[10]

一种晶圆甩干机的电机安装结构及立式晶圆甩干机 [P].

欧阳小泉 .

中国专利 :CN221573868U ,2024-08-20

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