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一种圆晶甩干机
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202420403356.9
申请日
:
2024-03-04
公开(公告)号
:
CN222123809U
公开(公告)日
:
2024-12-06
发明(设计)人
:
赵文涛
申请人
:
河北中科微电子有限公司
申请人地址
:
056003 河北省邯郸市复兴区邯兴路399号
IPC主分类号
:
F26B11/18
IPC分类号
:
F26B5/08
F26B25/18
F26B25/02
H01L21/67
代理机构
:
合肥木亿知识产权代理事务所(普通合伙) 34318
代理人
:
李吉成
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-12-06
授权
授权
共 50 条
[1]
一种晶圆甩干机
[P].
欧阳小泉
论文数:
0
引用数:
0
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0
欧阳小泉
.
中国专利
:CN215815796U
,2022-02-11
[2]
一种多工位圆晶甩干机
[P].
赵文涛
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
河北中科微电子有限公司
河北中科微电子有限公司
赵文涛
.
中国专利
:CN221885067U
,2024-10-22
[3]
一种甩干装置及晶圆甩干机
[P].
邱文金
论文数:
0
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0
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0
邱文金
;
罗家明
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0
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0
罗家明
.
中国专利
:CN217275357U
,2022-08-23
[4]
晶圆清洁甩干机
[P].
孙彩霞
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0
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0
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机构:
苏州尊恒半导体科技有限公司
苏州尊恒半导体科技有限公司
孙彩霞
;
肖锦成
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机构:
苏州尊恒半导体科技有限公司
苏州尊恒半导体科技有限公司
肖锦成
;
郭永强
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机构:
苏州尊恒半导体科技有限公司
苏州尊恒半导体科技有限公司
郭永强
.
中国专利
:CN222483330U
,2025-02-14
[5]
一种晶圆清洁甩干机
[P].
赵文涛
论文数:
0
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0
机构:
河北中科微电子有限公司
河北中科微电子有限公司
赵文涛
.
中国专利
:CN221885066U
,2024-10-22
[6]
一种晶圆清洁甩干机
[P].
欧阳小泉
论文数:
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0
欧阳小泉
.
中国专利
:CN215785212U
,2022-02-11
[7]
一种晶圆加工用的甩干机
[P].
高文峰
论文数:
0
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0
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0
高文峰
.
中国专利
:CN216354149U
,2022-04-19
[8]
一种晶圆甩干机的电机安装结构及立式晶圆甩干机
[P].
欧阳小泉
论文数:
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0
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0
机构:
泉芯半导体科技(无锡)有限公司
泉芯半导体科技(无锡)有限公司
欧阳小泉
.
中国专利
:CN221573868U
,2024-08-20
[9]
一种晶圆甩干机
[P].
李春阳
论文数:
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李春阳
;
高局
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高局
;
彭祎
论文数:
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彭祎
;
任超
论文数:
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任超
.
中国专利
:CN216620618U
,2022-05-27
[10]
一种晶圆甩干机
[P].
洪五贵
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机构:
江苏帝浦拓普智能装备有限公司
江苏帝浦拓普智能装备有限公司
洪五贵
;
曾恕林
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机构:
江苏帝浦拓普智能装备有限公司
江苏帝浦拓普智能装备有限公司
曾恕林
;
洪李兵
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机构:
江苏帝浦拓普智能装备有限公司
江苏帝浦拓普智能装备有限公司
洪李兵
;
洪隆彪
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机构:
江苏帝浦拓普智能装备有限公司
江苏帝浦拓普智能装备有限公司
洪隆彪
.
中国专利
:CN117588906A
,2024-02-23
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