一种圆晶甩干机

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202420403356.9
申请日
2024-03-04
公开(公告)号
CN222123809U
公开(公告)日
2024-12-06
发明(设计)人
赵文涛
申请人
河北中科微电子有限公司
申请人地址
056003 河北省邯郸市复兴区邯兴路399号
IPC主分类号
F26B11/18
IPC分类号
F26B5/08 F26B25/18 F26B25/02 H01L21/67
代理机构
合肥木亿知识产权代理事务所(普通合伙) 34318
代理人
李吉成
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种晶圆甩干机 [P]. 
欧阳小泉 .
中国专利 :CN215815796U ,2022-02-11
[2]
一种多工位圆晶甩干机 [P]. 
赵文涛 .
中国专利 :CN221885067U ,2024-10-22
[3]
一种甩干装置及晶圆甩干机 [P]. 
邱文金 ;
罗家明 .
中国专利 :CN217275357U ,2022-08-23
[4]
晶圆清洁甩干机 [P]. 
孙彩霞 ;
肖锦成 ;
郭永强 .
中国专利 :CN222483330U ,2025-02-14
[5]
一种晶圆清洁甩干机 [P]. 
赵文涛 .
中国专利 :CN221885066U ,2024-10-22
[6]
一种晶圆清洁甩干机 [P]. 
欧阳小泉 .
中国专利 :CN215785212U ,2022-02-11
[7]
一种晶圆加工用的甩干机 [P]. 
高文峰 .
中国专利 :CN216354149U ,2022-04-19
[8]
一种晶圆甩干机的电机安装结构及立式晶圆甩干机 [P]. 
欧阳小泉 .
中国专利 :CN221573868U ,2024-08-20
[9]
一种晶圆甩干机 [P]. 
李春阳 ;
高局 ;
彭祎 ;
任超 .
中国专利 :CN216620618U ,2022-05-27
[10]
一种晶圆甩干机 [P]. 
洪五贵 ;
曾恕林 ;
洪李兵 ;
洪隆彪 .
中国专利 :CN117588906A ,2024-02-23