一种晶圆甩干机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311626246.5

申请日：

2023-11-30

公开(公告)号：

CN117588906A

公开(公告)日：

2024-02-23

发明(设计)人：

洪五贵曾恕林洪李兵洪隆彪

申请人：

江苏帝浦拓普智能装备有限公司

申请人地址：

215311 江苏省苏州市昆山市巴城镇东荣路161号2号房

IPC主分类号：

F26B5/08

IPC分类号：

F26B11/18 F26B25/18 F26B25/00 F26B25/12 H01L21/67

代理机构：

南京鑫之航知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32410

代理人：

胡丽华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):F26B 5/08申请日:20231130
2024-02-23	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆甩干机 [P].

李春阳 ;

高局 ;

彭祎 ;

任超 .

中国专利 :CN216620618U ,2022-05-27

[2]

一种晶圆甩干机 [P].

欧阳小泉 .

中国专利 :CN215815796U ,2022-02-11

[3]

一种圆晶甩干机 [P].

赵文涛 .

中国专利 :CN222123809U ,2024-12-06

[4]

一种水平式晶圆甩干机构及晶圆甩干机 [P].

乔涛涛 ;

陈林林 .

中国专利 :CN223036772U ,2025-06-27

[5]

一种甩干装置及晶圆甩干机 [P].

邱文金 ;

罗家明 .

中国专利 :CN217275357U ,2022-08-23

[6]

晶圆清洁甩干机 [P].

孙彩霞 ;

肖锦成 ;

郭永强 .

中国专利 :CN222483330U ,2025-02-14

[7]

晶圆清洗甩干机 [P].

高思玮 .

中国专利 :CN102339729A ,2012-02-01

[8]

一种晶圆清洁甩干机 [P].

赵文涛 .

中国专利 :CN221885066U ,2024-10-22

[9]

一种晶圆片甩干机 [P].

施挺挺 .

中国专利 :CN212542372U ,2021-02-12

[10]

一种晶圆清洁甩干机 [P].

欧阳小泉 .

中国专利 :CN215785212U ,2022-02-11

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