晶圆清洁甩干机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421196858.5

申请日：

2024-05-29

公开(公告)号：

CN222483330U

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

孙彩霞肖锦成郭永强

申请人：

苏州尊恒半导体科技有限公司

申请人地址：

215316 江苏省苏州市昆山市玉山镇新城南路515号8号房

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/687 B08B3/02 B08B5/02 F26B5/08 F26B21/00

代理机构：

苏州拓源科佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32533

代理人：

蔡金花

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洁甩干机 [P].

赵文涛 .

中国专利 :CN221885066U ,2024-10-22

[2]

一种晶圆清洁甩干机 [P].

欧阳小泉 .

中国专利 :CN215785212U ,2022-02-11

[3]

晶圆甩干机限位机构 [P].

田英干 .

中国专利 :CN211828696U ,2020-10-30

[4]

晶圆清洗甩干机 [P].

高思玮 .

中国专利 :CN102339729A ,2012-02-01

[5]

一种晶圆冲洗甩干机及清洗甩干方法 [P].

涂辉 .

中国专利 :CN114464548A ,2022-05-10

[6]

晶圆甩干机以及用于晶圆甩干机的限位机构 [P].

张雷 .

中国专利 :CN110335834B ,2019-10-15

[7]

一种晶圆甩干机 [P].

欧阳小泉 .

中国专利 :CN215815796U ,2022-02-11

[8]

一种圆晶甩干机 [P].

赵文涛 .

中国专利 :CN222123809U ,2024-12-06

[9]

一种甩干装置及晶圆甩干机 [P].

邱文金 ;

罗家明 .

中国专利 :CN217275357U ,2022-08-23

[10]

一种晶圆甩干机的电机安装结构及立式晶圆甩干机 [P].

欧阳小泉 .

中国专利 :CN221573868U ,2024-08-20

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