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一种晶圆甩干机的电机安装结构及立式晶圆甩干机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323275716.6
申请日：
2023-11-30
公开(公告)号：
CN221573868U
公开(公告)日：
2024-08-20
发明(设计)人：
欧阳小泉
申请人：
泉芯半导体科技（无锡）有限公司
申请人地址：
214000 江苏省无锡市惠山区清华创新大厦A744
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
F16F15/08
代理机构：
无锡三合知识产权代理事务所(普通合伙) 32602
代理人：
徐鹏飞
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
无锡市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-08-20 | 授权 | 授权 |