一种甩干装置及晶圆甩干机

被引：0

申请号：

CN202220988954.8

申请日：

2022-04-26

公开(公告)号：

CN217275357U

公开(公告)日：

2022-08-23

发明(设计)人：

邱文金罗家明

申请人：

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号设备间

IPC主分类号：

F26B1118

IPC分类号：

F26B2506 F26B2518 F26B2502 F26B2114

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

韩静粉

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆甩干机的电机安装结构及立式晶圆甩干机 [P].

欧阳小泉 .

中国专利 :CN221573868U ,2024-08-20

[2]

一种晶圆甩干机 [P].

欧阳小泉 .

中国专利 :CN215815796U ,2022-02-11

[3]

一种圆晶甩干机 [P].

赵文涛 .

中国专利 :CN222123809U ,2024-12-06

[4]

一种水平式晶圆甩干机构及晶圆甩干机 [P].

乔涛涛 ;

陈林林 .

中国专利 :CN223036772U ,2025-06-27

[5]

晶圆清洁甩干机 [P].

孙彩霞 ;

肖锦成 ;

郭永强 .

中国专利 :CN222483330U ,2025-02-14

[6]

一种立式晶圆甩干机的阀安装结构及立式晶圆甩干机 [P].

欧阳小泉 .

中国专利 :CN221196324U ,2024-06-21

[7]

晶圆甩干装置 [P].

万先进 ;

王冬冬 ;

朱松 ;

张怀东 ;

秦宝宏 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220651995U ,2024-03-22

[8]

一种晶圆冲洗甩干机及清洗甩干方法 [P].

涂辉 .

中国专利 :CN114464548A ,2022-05-10

[9]

一种晶圆清洁甩干机 [P].

赵文涛 .

中国专利 :CN221885066U ,2024-10-22

[10]

一种晶圆清洁甩干机 [P].

欧阳小泉 .

中国专利 :CN215785212U ,2022-02-11

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