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一种晶圆清洁甩干机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420476995.8
申请日：
2024-03-12
公开(公告)号：
CN221885066U
公开(公告)日：
2024-10-22
发明(设计)人：
赵文涛
申请人：
河北中科微电子有限公司
申请人地址：
056003 河北省邯郸市复兴区邯兴路399号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
合肥木亿知识产权代理事务所(普通合伙) 34318
代理人：
李吉成
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-10-22 | 授权 | 授权 |