气体供给装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380013099.6

申请日：

2023-06-27

公开(公告)号：

CN117897520A

公开(公告)日：

2024-04-16

发明(设计)人：

丸谷周平三浦充刚

申请人：

东横化学株式会社日商化工技术边界股份有限公司

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

C30B29/06

IPC分类号：

B01J7/02 C23C16/448 C30B25/14 F28C3/08 F28D7/16

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

朱美红;任霄

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 29/06申请日:20230627
2024-04-16	公开	公开

共 50 条

[1]

气体供给装置、气体供给方法 [P].

高梨启一 ;

石桥昌幸 .

中国专利 :CN109423622A ,2019-03-05

[2]

燃料气体供给装置及燃料气体供给方法 [P].

清水翼 ;

横山晃太 .

中国专利 :CN108699466A ,2018-10-23

[3]

气体供给装置、基板处理装置及供给气体设定方法 [P].

水泽兼悦 ;

伊藤惠贵 ;

伊藤昌秀 .

中国专利 :CN100390933C ,2006-06-14

[4]

气体供给方法、基板处理方法以及气体供给装置 [P].

池田阳介 ;

山口俊二 ;

石松卓也 ;

峰原亨明 ;

深井健太 ;

吉田拓矢 .

中国专利 :CN114730705A ,2022-07-08

[5]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

林裕之 ;

太田龙作 .

中国专利 :CN113056962A ,2021-06-29

[6]

气体供给方法和气体供给装置 [P].

原正道 ;

五味淳 ;

横山敦 ;

田中利昌 ;

前川伸次 ;

多贺敏 .

中国专利 :CN101646803B ,2010-02-10

[7]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

大仓成幸 ;

布重裕 .

中国专利 :CN107686985B ,2018-02-13

[8]

气体供给方法及气体供给装置 [P].

名仓见治 ;

高木一 .

中国专利 :CN103998851A ,2014-08-20

[9]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

林裕之 ;

太田龙作 .

日本专利 :CN113056962B ,2024-03-08

[10]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

成岛健索 ;

堀田隼史 ;

松本淳志 ;

川口拓哉 ;

木元大寿 .

中国专利 :CN114375347A ,2022-04-19

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