化合物、树脂、组合物、抗蚀图案形成方法、电路图案形成方法和树脂的纯化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980035577.7

申请日：

2019-05-27

公开(公告)号：

CN112218844B

公开(公告)日：

2024-04-26

发明(设计)人：

堀内淳矢冈田悠牧野岛高史越后雅敏

申请人：

三菱瓦斯化学株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C07C39/15

IPC分类号：

C07C39/367 C07C49/83 C08G8/04 G03F7/11 G03F7/20 G03F7/26

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-26	授权	授权

共 50 条

[1]

化合物、树脂、组合物、抗蚀图案形成方法、电路图案形成方法和树脂的纯化方法 [P].

堀内淳矢 ;

冈田悠 ;

牧野岛高史 ;

越后雅敏 .

中国专利 :CN112218844A ,2021-01-12

[2]

化合物、树脂、组合物、抗蚀图案形成方法、电路图案形成方法和树脂的纯化方法 [P].

牧野岛高史 ;

冈田悠 ;

山本拓央 ;

越后雅敏 .

中国专利 :CN113365967A ,2021-09-07

[3]

化合物、树脂、组合物、抗蚀图案形成方法、电路图案形成方法和树脂的纯化方法 [P].

牧野岛高史 ;

堀内淳矢 ;

越后雅敏 .

中国专利 :CN111655662A ,2020-09-11

[4]

化合物、树脂、组合物、抗蚀图案形成方法和电路图案形成方法 [P].

樋田匠 ;

佐藤隆 ;

越后雅敏 .

中国专利 :CN108473639A ,2018-08-31

[5]

化合物、树脂、组合物以及抗蚀图案形成方法和电路图案形成方法 [P].

越后雅敏 .

中国专利 :CN110023276A ,2019-07-16

[6]

化合物、树脂、组合物、以及抗蚀图案形成方法和电路图案形成方法 [P].

越后雅敏 .

中国专利 :CN109715591A ,2019-05-03

[7]

化合物、树脂、组合物、以及抗蚀图案形成方法和电路图案形成方法 [P].

越后雅敏 .

中国专利 :CN109790097A ,2019-05-21

[8]

化合物、树脂和组合物、以及抗蚀图案形成方法和电路图案形成方法 [P].

越后雅敏 .

中国专利 :CN109803950A ,2019-05-24

[9]

化合物、树脂、组合物以及抗蚀图案形成方法及电路图案形成方法 [P].

越后雅敏 .

中国专利 :CN109476575A ,2019-03-15

[10]

化合物、树脂、组合物以及抗蚀图案形成方法及电路图案形成方法 [P].

越后雅敏 .

中国专利 :CN109476576A ,2019-03-15

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