一种适用于大尺寸超薄化硅片切割液及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN202311853430.3
申请日
2023-12-29
公开(公告)号
CN117821155A
公开(公告)日
2024-04-05
发明(设计)人
张静 任凡 梁立春 朱玉龙 王亮
申请人
武汉奥克特种化学有限公司
申请人地址
430023 湖北省武汉市青山区化学工业区化工大道130号
IPC主分类号
C10M173/02
IPC分类号
C10N30/04 C10N30/06 C10N30/18
代理机构
湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102
代理人
李丹
法律状态
实质审查的生效
国省代码
湖北省 武汉市
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共 50 条
[1]
一种大尺寸硅片游离磨料水基切割液及其制备方法 [P]. 
侯军 ;
张楠 .
中国专利 :CN113913236B ,2022-01-11
[2]
金刚线切割大尺寸硅片用切割液及其制备工艺 [P]. 
付明全 ;
吕炳国 .
中国专利 :CN112961726A ,2021-06-15
[3]
一种用于大尺寸硅片的切割液、其制备方法和用途 [P]. 
侯军 ;
李传友 ;
吕婧 ;
孙瑶 .
中国专利 :CN120904954A ,2025-11-07
[4]
一种大尺寸硅片金刚线切割液 [P]. 
郭熹 ;
刘治洲 ;
王波 .
中国专利 :CN113549488A ,2021-10-26
[5]
一种适用于超薄硅片切割的金刚线冷却液 [P]. 
杨长剑 ;
陈斯奇 ;
刘静彩 .
中国专利 :CN118207038A ,2024-06-18
[6]
一种大尺寸硅片金刚线切割液、其制备方法和用途 [P]. 
侯军 ;
吕婧 ;
李传友 ;
褚雨露 .
中国专利 :CN117089389B ,2025-08-19
[7]
一种用于金刚线切割大尺寸硅片的切削液及其制备方法 [P]. 
陈立飞 ;
陈燕杰 ;
马清怡 .
中国专利 :CN115505453A ,2022-12-23
[8]
一种硅片切割液及其制备方法 [P]. 
陈五奎 ;
李军 ;
耿荣军 ;
徐文州 ;
陈磊 ;
冯加保 .
中国专利 :CN104498142A ,2015-04-08
[9]
一种适用于太阳能级大尺寸硅片多线切割用冷却液 [P]. 
陈卫东 ;
崔三观 ;
王艺澄 .
中国专利 :CN114456873A ,2022-05-10
[10]
一种金刚线多线切割大尺寸薄硅片切割液 [P]. 
杨文勇 ;
张震 ;
刘辉 ;
周翼帆 ;
李文帅 ;
安冠宇 .
中国专利 :CN118725952A ,2024-10-01