一种硅片切割液及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201410707054.1
申请日
2014-11-27
公开(公告)号
CN104498142A
公开(公告)日
2015-04-08
发明(设计)人
陈五奎 李军 耿荣军 徐文州 陈磊 冯加保
申请人
申请人地址
614000 四川省乐山市高新区建业大道9号
IPC主分类号
C10M16904
IPC分类号
C10M16100
代理机构
成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227
代理人
李玉兴
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种硅片切割液 [P]. 
聂金根 .
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[2]
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[3]
一种硅片切割液 [P]. 
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张世龙 .
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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