晶体管的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210388900.9

申请日：

2012-10-12

公开(公告)号：

CN102881597A

公开(公告)日：

2013-01-16

发明(设计)人：

李全波张瑜崇二敏

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

陆花

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101401525562 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2012103889009 申请日:20121012
2016-04-06	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101730411896 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2012103889009 申请公布日:20130116
2013-01-16	公开	公开

共 50 条

[1]

晶体管的制作方法 [P].

赵猛 .

中国专利 :CN102420138A ,2012-04-18

[2]

MOS晶体管的制作方法 [P].

赵猛 .

中国专利 :CN101930922B ,2010-12-29

[3]

CMOS晶体管的制作方法 [P].

沈满华 ;

孟晓莹 ;

黄怡 .

中国专利 :CN102446854B ,2012-05-09

[4]

MOS晶体管的制作方法 [P].

赵猛 .

中国专利 :CN101930924A ,2010-12-29

[5]

栅极及NMOS晶体管的制作方法 [P].

黄怡 ;

张海洋 ;

陈海华 .

中国专利 :CN101399192A ,2009-04-01

[6]

晶体管的制作方法 [P].

史运泽 ;

徐友锋 ;

刘焕新 .

中国专利 :CN102487012A ,2012-06-06

[7]

晶体管的制作方法 [P].

刘正超 .

中国专利 :CN102315131B ,2012-01-11

[8]

晶体管的制作方法 [P].

赵猛 .

中国专利 :CN102468178B ,2012-05-23

[9]

CMOS晶体管的制作方法 [P].

韦庆松 ;

于书坤 .

中国专利 :CN103730420A ,2014-04-16

[10]

CMOS晶体管的制作方法 [P].

甘正浩 ;

冯军宏 .

中国专利 :CN102790013A ,2012-11-21

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