共 50 条
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缺陷检查装置、缺陷检查方法以及存储介质
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310210175.4
申请日：
2023-03-07
公开(公告)号：
CN117405679A
公开(公告)日：
2024-01-16
发明(设计)人：
森谷章
申请人：
株式会社东芝
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G01N21/88
IPC分类号：
G06T7/00
代理机构：
中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038
代理人：
孙蕾
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-16 | 公开 | 公开 |
| 2024-02-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/88申请日:20230307 |