缺陷检查方法以及缺陷检查装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480012327.9

申请日：

2014-01-27

公开(公告)号：

CN105026883B

公开(公告)日：

2015-11-04

发明(设计)人：

高木裕治原田实坂本雅史平井大博

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01B1500

IPC分类号：

G01B1100 G01N23225 H01L2166 H01J3722

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

范胜杰;曹鑫

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-10	授权	授权
2015-12-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101635134801 IPC(主分类):G01B 15/00 专利申请号:2014800123279 申请日:20140127
2015-11-04	公开	公开

共 50 条

[1]

缺陷检查装置及缺陷检查方法 [P].

奥山真继 ;

近藤浩史 .

中国专利 :CN101000311A ,2007-07-18

[2]

缺陷检查装置以及缺陷检查方法 [P].

川岛裕史 ;

上田高敬 ;

江草稔 ;

境纪和 ;

锦户良太 .

中国专利 :CN110621988A ,2019-12-27

[3]

缺陷检查方法以及缺陷检查装置 [P].

长谷川正树 ;

小贯胜则 ;

兼冈则幸 ;

村越久弥 ;

尾方智彦 .

中国专利 :CN108603850B ,2018-09-28

[4]

缺陷检查装置以及缺陷检查方法 [P].

尾崎麻耶 .

中国专利 :CN104583761B ,2015-04-29

[5]

缺陷检查装置以及缺陷检查方法 [P].

小林康彦 ;

关高辉 ;

藤冈恭弘 ;

今泉贵正 .

日本专利 :CN118974549A ,2024-11-15

[6]

缺陷检查方法以及缺陷检查装置 [P].

藏所启一 ;

铃木孝治 .

中国专利 :CN101620190A ,2010-01-06

[7]

缺陷检查装置及缺陷检查方法 [P].

野岛和弘 ;

手塚知秀 ;

大西笃志 ;

山田一弘 ;

野嶋茂树 ;

滨口晶 .

日本专利 :CN110896038B ,2025-06-20

[8]

缺陷检查装置及缺陷检查方法 [P].

野岛和弘 ;

手塚知秀 ;

大西笃志 ;

山田一弘 ;

野嶋茂树 ;

滨口晶 .

中国专利 :CN110896038A ,2020-03-20

[9]

缺陷检查装置缺陷检查方法 [P].

冈部浩史 ;

金谷义宏 ;

松本俊彦 .

中国专利 :CN101034069A ,2007-09-12

[10]

缺陷检查装置、缺陷检查方法以及存储介质 [P].

森谷章 .

日本专利 :CN117405679A ,2024-01-16

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