缺陷检查装置以及缺陷检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880028252.1

申请日：

2018-05-11

公开(公告)号：

CN110621988A

公开(公告)日：

2019-12-27

发明(设计)人：

川岛裕史上田高敬江草稔境纪和锦户良太

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G01N2572

IPC分类号：

G01N21956

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

许海兰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 25/72 申请日:20180511
2019-12-27	公开	公开

共 50 条

[1]

缺陷检查方法以及缺陷检查装置 [P].

高木裕治 ;

原田实 ;

坂本雅史 ;

平井大博 .

中国专利 :CN105026883B ,2015-11-04

[2]

缺陷检查方法以及缺陷检查装置 [P].

长谷川正树 ;

小贯胜则 ;

兼冈则幸 ;

村越久弥 ;

尾方智彦 .

中国专利 :CN108603850B ,2018-09-28

[3]

缺陷检查装置以及缺陷检查方法 [P].

尾崎麻耶 .

中国专利 :CN104583761B ,2015-04-29

[4]

缺陷检查装置以及缺陷检查方法 [P].

小林康彦 ;

关高辉 ;

藤冈恭弘 ;

今泉贵正 .

日本专利 :CN118974549A ,2024-11-15

[5]

缺陷检查方法以及缺陷检查装置 [P].

藏所启一 ;

铃木孝治 .

中国专利 :CN101620190A ,2010-01-06

[6]

缺陷检查装置和缺陷检查方法 [P].

柳濑正和 .

中国专利 :CN103620482B ,2014-03-05

[7]

缺陷检查装置及缺陷检查方法 [P].

江川弘一 ;

中田雅博 .

中国专利 :CN104007116B ,2014-08-27

[8]

缺陷检查方法以及利用该方法的缺陷检查装置 [P].

冈部浩史 ;

松本俊彦 .

中国专利 :CN1844901A ,2006-10-11

[9]

缺陷检查装置缺陷检查方法 [P].

冈部浩史 ;

金谷义宏 ;

松本俊彦 .

中国专利 :CN101034069A ,2007-09-12

[10]

缺陷检查装置、缺陷检查方法以及存储介质 [P].

森谷章 .

日本专利 :CN117405679A ,2024-01-16

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