磁控溅射平面靶材屏蔽罩

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220665987.5

申请日：

2012-12-06

公开(公告)号：

CN202989274U

公开(公告)日：

2013-06-12

发明(设计)人：

彭春超何保军赵跃林高文波

申请人：

申请人地址：

461100 河南省许昌市许昌县尚集产业集聚区平安大道与滨河路交叉口

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1404

代理机构：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-12	授权	授权
2016-01-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101643893414 IPC(主分类):C23C 14/35 专利号:ZL2012206659875 申请日:20121206 授权公告日:20130612 终止日期:20141206

共 50 条

[1]

一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩 [P].

王进东 .

中国专利 :CN205934010U ,2017-02-08

[2]

一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩 [P].

王进东 .

中国专利 :CN106011770A ,2016-10-12

[3]

一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩 [P].

刘海华 ;

尹英发 ;

范伟华 ;

黄裕坤 .

中国专利 :CN221094260U ,2024-06-07

[4]

磁控溅射屏蔽罩 [P].

毛秀娟 ;

周细应 ;

裴士轻 ;

江强 ;

陈明 ;

邵佳佳 .

中国专利 :CN203320121U ,2013-12-04

[5]

磁控溅射屏蔽罩和磁控溅射设备 [P].

赵鑫 ;

任明冲 ;

张林 ;

谷士斌 ;

王智坚 ;

赵冠超 ;

杨荣 ;

李立伟 ;

孟原 ;

郭铁 .

中国专利 :CN206188880U ,2017-05-24

[6]

磁控溅射旋转靶材 [P].

黄勇彪 ;

林文宝 .

中国专利 :CN204224696U ,2015-03-25

[7]

一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置 [P].

张晓岚 ;

谢丑相 ;

王国昌 ;

籍龙占 ;

吴历清 .

中国专利 :CN210886213U ,2020-06-30

[8]

磁控溅射用镶嵌靶材 [P].

宋爱谋 ;

钟小亮 .

中国专利 :CN204474747U ,2015-07-15

[9]

大型磁控溅射ITO靶材 [P].

刘晓伟 ;

王守坤 ;

郭会斌 .

中国专利 :CN203295593U ,2013-11-20

[10]

磁控溅射旋转靶 [P].

肖世文 .

中国专利 :CN203741407U ,2014-07-30

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