磁控溅射用镶嵌靶材

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520046570.4

申请日：

2015-01-23

公开(公告)号：

CN204474747U

公开(公告)日：

2015-07-15

发明(设计)人：

宋爱谋钟小亮

申请人：

申请人地址：

255100 山东省淄博市文昌湖旅游度假区商家镇

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

青岛发思特专利商标代理有限公司 37212

代理人：

马俊荣

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-15	授权	授权

共 50 条

[1]

磁控溅射旋转靶材 [P].

黄勇彪 ;

林文宝 .

中国专利 :CN204224696U ,2015-03-25

[2]

大型磁控溅射ITO靶材 [P].

刘晓伟 ;

王守坤 ;

郭会斌 .

中国专利 :CN203295593U ,2013-11-20

[3]

一种磁控溅射用靶材 [P].

武瑞军 ;

田富 .

中国专利 :CN202347088U ,2012-07-25

[4]

磁控溅射平面靶材屏蔽罩 [P].

彭春超 ;

何保军 ;

赵跃林 ;

高文波 .

中国专利 :CN202989274U ,2013-06-12

[5]

旋转靶材及磁控溅射装置 [P].

任丹丹 ;

朱成顺 ;

蒋雷 .

中国专利 :CN212894948U ,2021-04-06

[6]

绑定式磁控溅射旋转靶材 [P].

徐从康 .

中国专利 :CN205473965U ,2016-08-17

[7]

镶嵌式溅射靶材 [P].

宋爱谋 ;

钟小亮 .

中国专利 :CN204738019U ,2015-11-04

[8]

磁控溅射旋转靶 [P].

肖世文 .

中国专利 :CN203741407U ,2014-07-30

[9]

磁控溅射圆柱靶 [P].

蔡新明 ;

柯伟 ;

吴旭林 ;

张化明 ;

韩文敏 .

中国专利 :CN202369634U ,2012-08-08

[10]

磁控溅射用靶材中心防污染阳极 [P].

齐卫冲 .

中国专利 :CN222700397U ,2025-04-01

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