一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610626729.9

申请日：

2016-08-02

公开(公告)号：

CN106011770A

公开(公告)日：

2016-10-12

发明(设计)人：

王进东

申请人：

申请人地址：

223100 江苏省淮安市洪泽县经济开发区北三道8号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

北京君华知识产权代理事务所(普通合伙) 11515

代理人：

朱庆华

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-06	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/35 申请公布日:20161012
2016-10-12	公开	公开
2016-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101686889117 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2016106267299 申请日:20160802

共 50 条

[1]

磁控溅射平面靶材屏蔽罩 [P].

彭春超 ;

何保军 ;

赵跃林 ;

高文波 .

中国专利 :CN202989274U ,2013-06-12

[2]

一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩 [P].

王进东 .

中国专利 :CN205934010U ,2017-02-08

[3]

一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩 [P].

刘海华 ;

尹英发 ;

范伟华 ;

黄裕坤 .

中国专利 :CN221094260U ,2024-06-07

[4]

一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置 [P].

张晓岚 ;

谢丑相 ;

王国昌 ;

籍龙占 ;

吴历清 .

中国专利 :CN112899626A ,2021-06-04

[5]

一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置 [P].

张晓岚 ;

谢丑相 ;

王国昌 ;

籍龙占 ;

吴历清 .

中国专利 :CN210886213U ,2020-06-30

[6]

一种磁控溅射矩形平面靶材防短路压块 [P].

赖善春 ;

杜甫 ;

包立强 ;

蒋新波 ;

刘志标 ;

周建 ;

年志刚 .

中国专利 :CN203403149U ,2014-01-22

[7]

一种磁控溅射平面靶磁通装置 [P].

杨连圣 ;

张葆华 ;

何欢 ;

张敏刚 ;

郭敬东 ;

韩志明 ;

赵菁 ;

赵亚利 .

中国专利 :CN114351104B ,2022-04-15

[8]

拼接式磁控溅射平面靶材及其使用方法 [P].

闫晓晖 .

中国专利 :CN115341188A ,2022-11-15

[9]

一种自动清理磁控溅射设备平面靶材表面的装置 [P].

王伟 .

中国专利 :CN203625462U ,2014-06-04

[10]

一种提高磁控溅射平面靶材利用率的方法及装置 [P].

张宁 ;

余新平 ;

张森 ;

卓胜 ;

张至树 .

中国专利 :CN104498886A ,2015-04-08

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