一种自动清理磁控溅射设备平面靶材表面的装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320851351.4

申请日：

2013-12-23

公开(公告)号：

CN203625462U

公开(公告)日：

2014-06-04

发明(设计)人：

王伟

申请人：

申请人地址：

251200 山东省德州市禹城市高新区振兴大道汉能光伏产业园

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

济南泉城专利商标事务所 37218

代理人：

李桂存

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-01	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/35 登记生效日:20190203 变更事项:专利权人变更前权利人:山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司变更后权利人:汉能光伏科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:251200 山东省德州市禹城市高新区振兴大道汉能光伏产业园变更后权利人:100107 北京市朝阳区奥运村街道办公区2号楼103室
2015-05-13	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件序号:101715246676 IPC(主分类):C23C 14/35 专利号:ZL2013208513514 变更事项:专利权人变更前:山东禹城汉能光伏有限公司变更后:山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司变更事项:地址变更前:251200 山东省德州市禹城市高新区振兴大道汉能光伏产业园变更后:251200 山东省德州市禹城市高新区振兴大道汉能光伏产业园号牌文件类型代码:1602
2014-06-04	授权	授权
2019-03-26	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/35 登记生效日:20190307 变更事项:专利权人变更前权利人:汉能光伏科技有限公司变更后权利人:汉能移动能源控股集团有限公司变更事项:地址变更前权利人:100107 北京市朝阳区奥运村街道办公区2号楼103室变更后权利人:100107 北京市朝阳区奥运村街道综合办公区2号楼107室

共 50 条

[1]

一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩 [P].

刘海华 ;

尹英发 ;

范伟华 ;

黄裕坤 .

中国专利 :CN221094260U ,2024-06-07

[2]

磁控溅射平面靶材屏蔽罩 [P].

彭春超 ;

何保军 ;

赵跃林 ;

高文波 .

中国专利 :CN202989274U ,2013-06-12

[3]

一种磁控溅射设备靶材 [P].

毛成飞 ;

洪耀 ;

张民井 ;

曹瑞丰 ;

郭丰 ;

高裕弟 ;

孙剑 .

中国专利 :CN206376000U ,2017-08-04

[4]

一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩 [P].

王进东 .

中国专利 :CN205934010U ,2017-02-08

[5]

靶材打磨装置和磁控溅射设备 [P].

范贵林 ;

任嘉乐 ;

刘杰 ;

林维乐 ;

陈国栋 .

中国专利 :CN223235961U ,2025-08-19

[6]

一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩 [P].

王进东 .

中国专利 :CN106011770A ,2016-10-12

[7]

一种磁控溅射设备靶材的打磨装置 [P].

冀杨洲 ;

黄金 ;

杨立友 ;

王继磊 ;

鲍少娟 ;

师海峰 ;

郝伟杰 ;

杨泽奇 ;

高英杰 ;

许利群 ;

李文敏 .

中国专利 :CN218427462U ,2023-02-03

[8]

一种磁控溅射设备靶材的打磨装置 [P].

黄昭仁 ;

褚陈伟 ;

焦娟娟 .

中国专利 :CN221185835U ,2024-06-21

[9]

一种靶材清理装置及磁控溅射系统 [P].

董志良 .

中国专利 :CN209974872U ,2020-01-21

[10]

一种磁控溅射靶材、磁控溅射靶及磁控溅射设备 [P].

魏钰 ;

宋博韬 ;

成军 ;

刘宁 .

中国专利 :CN205934012U ,2017-02-08

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