一种磁控溅射矩形平面靶材防短路压块

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320462254.6

申请日：

2013-07-31

公开(公告)号：

CN203403149U

公开(公告)日：

2014-01-22

发明(设计)人：

赖善春杜甫包立强蒋新波刘志标周建年志刚

申请人：

申请人地址：

517000 广东省河源市高新技术开发区高新五路

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

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国省代码：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-29	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101734853850 IPC(主分类):C23C 14/35 专利号:ZL2013204622546 变更事项:专利权人变更前:广东汉能光伏有限公司变更后:广东汉能薄膜太阳能有限公司变更事项:地址变更前:517000 广东省河源市河源市高新技术开发区高新五路变更后:517000 广东省河源市高新技术开发区高新五路
2014-01-22	授权	授权

共 50 条

[1]

磁控溅射平面靶材屏蔽罩 [P].

彭春超 ;

何保军 ;

赵跃林 ;

高文波 .

中国专利 :CN202989274U ,2013-06-12

[2]

一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩 [P].

王进东 .

中国专利 :CN205934010U ,2017-02-08

[3]

一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩 [P].

刘海华 ;

尹英发 ;

范伟华 ;

黄裕坤 .

中国专利 :CN221094260U ,2024-06-07

[4]

矩形平面磁控溅射靶材及磁控溅射靶装置 [P].

李晨光 .

中国专利 :CN203782228U ,2014-08-20

[5]

矩形平面磁控溅射靶材及磁控溅射靶装置 [P].

孔伟华 .

中国专利 :CN216192676U ,2022-04-05

[6]

一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩 [P].

王进东 .

中国专利 :CN106011770A ,2016-10-12

[7]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

陈长琦 ;

郭江涛 ;

王君 .

中国专利 :CN201162042Y ,2008-12-10

[8]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

苏宜龙 ;

赵子东 .

中国专利 :CN201981253U ,2011-09-21

[9]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

彭寿 ;

葛承全 ;

张超群 ;

井治 ;

张仰平 ;

李险峰 .

中国专利 :CN203462120U ,2014-03-05

[10]

一种磁控溅射设备靶材 [P].

毛成飞 ;

洪耀 ;

张民井 ;

曹瑞丰 ;

郭丰 ;

高裕弟 ;

孙剑 .

中国专利 :CN206376000U ,2017-08-04

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